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AI电子书 模块四 硅片后清洗刻蚀生产AI讲解

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阅读:16
更新:2025/02/06
文件:2.28M

目录

4.1 刻蚀生产工艺流程

4.1.1 硅片刻蚀生产的目的

4.1.2 湿法刻蚀生产和去除PSG的原理

4.1.3 刻蚀生产工艺技术

4.2 刻蚀生产作业规范

4.2.1 生产作业规范

4.2.2 生产作业常见问题

4.3 刻蚀生产质量监控

4.3.1 刻蚀工艺质量的检测

4.3.2 后清洗刻蚀生产常见异常情况处理

4.4 刻蚀生产返工作业

4.4.1 刻蚀生产返工作业操作流程

4.4.2 RENA刻蚀设备的基本维护

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